广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵

安捷伦真空推出了一款全新涡轮分子泵 TwisTorr 305，它继承了安捷伦TwisTorr 系列分子泵超高真空、高压缩比、全无油润滑等优点，同时（参见文章：安捷伦TwisTorr超高真空涡轮分子泵特点介绍），还拥有诸多全新的特点（参见文章：新产品 | 安捷伦新型分子泵“新”在哪？），此外，TwisTorr 305 还是安捷伦采用全新设计和制造方法所推出的款真空产品。而广州潽拓光电根据305产品特性研究，可以针对性的提供服务。

广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵

高真空涡轮分子泵是什么？

涡轮分子泵是一种用来获取高真空的真空泵，典型的工作压力是 0.0001Pa、0.00001Pa，但在极限状态下，可以通过它实现 0.00000001Pa（大气压的十万亿分之一）的超高真空。涡轮分子泵可以用于各类质谱仪（比如 GC/MS、LC/MS、ICP/杠MS、TOF…）、镀膜机、电子显微镜（SEM、TEM）、聚焦离子束系统（FIB）、表面分析仪器，高能物理实验装置、粒子、高真空实验装置等诸多应用。

企业视频展播，请点击播放

视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵

罗茨真空泵市场

　　从国外罗茨泵生产情况来看，国外几家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他们各家罗茨泵的销售额占罗茨泵销售额的比例都没超过5%，这5家总计才20%，罗茨泵产量不大，但国外罗茨泵的价格远比国产泵要高得多。目前，国内外几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统，为了缩短抽气时间、提高生产效率都配有罗茨泵，所以国产罗茨泵一定要在占领基础上设法进入国际市场，这样就必须进一步降低国产罗茨泵的振动噪声，轴封漏油问题，改进泵的外观质量，提高泵内的光洁度和清洁度。另外，还要考虑到有些国家和地区的电源频率为60Hz，更要确保罗茨泵在提高转速的情况下长期运行的可靠性

广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵

分子泵叶片破碎的原因：

　　答：造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多，归纳起来主要是以下几点：

　　①、误操作;比如突然的破真空，因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小，如果叶片的材质比较薄或者比较软，突然的空气阻力会造成叶片变形，这样可能会造成转子静子之间的摩擦，导致打碎。

　　②、是异物掉入;没有安装过滤网使肯定不行的，另外掉进去的东西不一定要多大，但如果硬度够了一样会造成伤害，轻则造成叶片边缘被打成锯齿状，重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装，避免异物掉入。

　　③、电压的不稳定，特别对磁浮类的分子泵损伤较大。

　　④、前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出，真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差，分子泵就会比较吃力，启动速度慢，抽气时间长，电流高，分子泵温度升高等。

　　⑤、、分子泵保养时的动平衡没有做好，这是技术的关键，动平衡差，振动就大，抽气效率就差，也容易造成轴承部分的过度磨损。

　　⑥、轴承部分没有使用原厂的标准轴承，效果和尺寸不标准等。

广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵

气载、热气体、突变气载

　　a 引起问题：温度升高；动静片变形；转子上移；润滑失效5℃原则；轴承失效

　　b. 措施：加大水冷；增加冷却装置；缩短换油时间7磁场屏蔽出现的问题

　　旋转的转子在磁场中产生涡电流，将使转子发热，将产生如下问题：

　　①、转子与定子间隙越来越小，造成碎片；

　　②、转子温升过大造成磁性电机转子退磁；

　　③、由于发热会减弱铝材料的强度，造成碎泵；

　　④、转子发热，改变转子和轴的相对位置，造成碎泵。

　　分子泵在磁场中运转时，径向和轴向磁场强度均不得大于30Gs。原则上，大于30Gs应使用导磁材料屏蔽。

广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵

为什么要选择涡旋式无油干泵IDP-3？极低维护成本IDP-3的采购价格及维护包价格只是隔膜泵的一半更换操作快捷15分钟即可完成的密封条更换工作降低音频噪声—提高用户体验使用精密的测声计，并通过ISO标准进行测试：在操作人员位置的测试结果表明，IDP-3的噪声会小于油封式真空泵2dB